Die Forschungsschwerpunkte am Institut für Mikrotechnik (IMT) reichen von numerischen Simulationsverfahren über materialwissenschaftliche Basisuntersuchungen bis hin zur Entwicklung und Fertigung komplexer Mikrosysteme. Die Fragestellungen für die Mikrosystemtechnik kommen dabei typischerweise aus der interdisziplinären Forschung auf Feldern der Mechatronik, Verfahrenstechnik und der Lebenswissenschaften. Es werden insbesondere Lab-on-Chip Systeme für medizinische, pharmazeutische und biologische Anwendungen sowie Sensoren für die Luftfahrt und für die Messtechnik entwickelt, wie z. B. taktile Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik. Einen weiteren Schwerpunkt bilden folienartige Sensorsysteme auf Basis flexibler und dehnbarer Substrate.

Das IMT verfügt über einen 300 qm großen Reinraum mit dazugehörigen Laborräumen und moderner Ausstattung. Diese umfasst neben den typischen Anlagen zur Lithographie-basierten Mikrofertigung auch eine Anlage zur Strukturierung mittels Femtosekunden-Laserstrahlen. Unsere Ausstattung bietet den wissenschaftlichen Mitarbeitern und Mitarbeiterinnen eine optimale Basis für die Erforschung mikrotechnologischer Prozesse und zur Entwicklung von Mikrosystemen. Am IMT sind Ingenieure und Ingenieurinnen des Maschinenbaus, der Elektrotechnik, der Bioverfahrenstechnik, des Bioingenieurwesens und der Physik beschäftigt.